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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀P17。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測(cè)量，掃描可達(dá)200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)，有出色測(cè)量穩(wěn)定性。

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有較好的測(cè)量重復(fù)性。

KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，帶有電動(dòng)載物臺(tái)?？蓽y(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺(tái)階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。